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Shake高精密气浮隔振平台由蜂窝面包板组高合精密空气弹簧隔振系统和双横梁二级气室支撑架(带脚轮)而成。自动水平,自动充气,高精度水平调节阀反应灵敏,标配优质静音空压机。该款平台是隔振性能非常优异的科研级气浮隔振平台。同时台面经过精密加工和迪纹哑光处理,可以保证0.05 mm/m2的平面度和0.8 μm粗糙度要求。机架根据不同台面规格分为四支撑与六支撑结构,并由连杆组成刚性结构。机架隔振系统采用空气弹簧结构设计,其工作时,内腔充入压缩空气,形成一个压缩空气柱。依靠橡胶气囊中压缩空气的压力变化取得减振效果。共振阻尼性能好,响应灵敏。空气弹簧巧妙采用双气室结构设计,附加气室以降低垂直刚度,并在空气弹簧本体和附加气室之间设置节流孔以提供阻尼。当空气弹簧受到激扰而产生变形时,节流孔两侧将产生压力差,空气弹簧在缓慢变位过程中,其压力差不大,而在快速变位过程, 则其压力差较大。压力空气流过节流孔时,将受到局部阻力作用而产生阻尼, 吸收一部分能量,从而起到减振作用。
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